Таҳлили микроструктура ва арзёбии маводи нимноқилҳо
Муқаддимаи хидмат
Бо рушди муттасили микросхемаҳои интегралӣ миқёси калон, раванди истеҳсоли микросхемаҳо торафт мураккабтар мегардад ва микроструктураи ғайримуқаррарӣ ва таркиби маводи нимноқилҳо ба беҳтар шудани ҳосили чип монеъ мешавад, ки барои татбиқи нимноқилҳои нав ва интегралӣ мушкилоти бузург меорад. технологияҳои схемавӣ.
GRGTEST таҳлил ва арзёбии ҳамаҷонибаи микроструктураи маводи нимноқилро барои беҳтар кардани равандҳои нимноқилҳо ва микросхемаҳои интегралӣ, аз ҷумла омода кардани профили сатҳи вафли ва таҳлили электронӣ, таҳлили ҳамаҷонибаи хосиятҳои физикӣ ва химиявии маводи марбут ба истеҳсоли нимноқилҳо, таҳия ва татбиқи таҳлили ифлоскунандаи маводи нимноқил таъмин менамояд. барнома.
Доираи хизматрасонӣ
Маводҳои нимноқилӣ, маводи молекулавии хурди органикӣ, маводи полимерӣ, маводи гибридии органикӣ/ғайриорганикӣ, маводҳои ғайриорганикии ғайриметаллӣ
1. Омодасозии профили сатҳи вафли чип ва таҳлили электронӣ, дар асоси технологияи чӯби ионҳои мутамарказ (DB-FIB), буридани дақиқи минтақаи маҳаллии чип ва тасвири электронӣ дар вақти воқеӣ, метавонад сохтори профили чип, таркиб ва дигар иттилооти муҳими раванд;
2. Таҳлили ҳамаҷонибаи хосиятҳои физикӣ ва химиявии маводи истеҳсоли нимноқилҳо, аз ҷумла маводи полимерии органикӣ, маводи хурд молекулавӣ, таҳлили таркиби маводи ғайриорганикӣ, таҳлили сохтори молекулавӣ ва ғайра;
3. Тартиб додан ва татбиқи нақшаи таҳлили ифлосшавии маводи нимноқил.Он метавонад ба мизоҷон дар фаҳмидани хусусиятҳои физикӣ ва химиявии ифлоскунандаҳо, аз ҷумла: таҳлили таркиби химиявӣ, таҳлили мундариҷаи ҷузъҳо, таҳлили сохтори молекулавӣ ва дигар таҳлили хусусиятҳои физикӣ ва химиявӣ кӯмак расонад.
Объектҳои хидматрасонӣ
| Хизматнавъи | Хизматашё |
| Таҳлили таркиби элементҳои маводи нимноқилӣ | l Таҳлили элементҳои EDS, l Тахлили элементарии спектроскопияи рентгении фотоэлектрони (XPS). |
| Таҳлили сохтори молекулавии маводи нимноқил | l Таҳлили спектри инфрасурх FT-IR, l Таҳлили спектроскопии дифраксияи рентгенӣ (XRD), l Таҳлили поп резонанси магнитии ядроӣ (H1NMR, C13NMR) |
| Таҳлили микроструктураи маводи нимноқилҳо | l Таҳлили буридаи нури дукаратаи ион (DBFIB), l Барои чен кардан ва мушоҳида кардани морфологияи микроскопӣ микроскопияи электронии сканерии саҳроӣ (FESEM) истифода шуд, l Микроскопияи қувваи атомӣ (AFM) барои мушоҳидаи морфологияи рӯизаминӣ |
