Дар баробари инкишофи муттасили микросхемаҳои интегралӣ миқёси калон, раванди истеҳсоли микросхемаҳо торафт мураккабтар мегардад ва микроструктураи ғайримуқаррарӣ ва таркиби маводи нимноқилӣ ба беҳтар шудани ҳосили чипҳо халал мерасонад, ки ин барои татбиқи технологияҳои нави нимноқилҳо ва схемаҳои интегралӣ душвориҳои калон меорад.
GRGTEST таҳлил ва арзёбии ҳамаҷонибаи микросохтори маводи нимноқилро таъмин мекунад, то ба мизоҷон дар такмил додани равандҳои нимноқилҳо ва микросхемаҳои интегралӣ, аз ҷумла омода кардани профили сатҳи вафли ва таҳлили электронӣ, таҳлили ҳамаҷонибаи хосиятҳои физикӣ ва кимиёвии маводи марбут ба истеҳсоли нимноқилҳо, таҳия ва татбиқи барномаи таҳлили маводи нимноқилҳои ифлоскунанда.
Маводҳои нимноқилӣ, маводи молекулавии хурди органикӣ, маводи полимерӣ, маводи гибридии органикӣ/ғайриорганикӣ, маводҳои ғайриорганикии ғайриметаллӣ
1. Омодасозии профили сатҳи вафли чип ва таҳлили электронӣ, дар асоси технологияи чӯби ионҳои мутамарказ (DB-FIB), буридани дақиқи минтақаи маҳаллии чип ва тасвири электронӣ дар вақти воқеӣ, метавонад сохтори профили чипи, таркиб ва дигар иттилооти муҳими равандро ба даст орад;
2. Таҳлили ҳамаҷонибаи хосиятҳои физикӣ ва химиявии маводи истеҳсоли нимноқилҳо, аз ҷумла маводи полимерии органикӣ, маводи хурд молекулавӣ, таҳлили таркиби маводи ғайриорганикӣ, таҳлили сохтори молекулавӣ ва ғайра;
3. Тартиб додан ва татбиқи нақшаи таҳлили ифлосшавии маводи нимноқил. Он метавонад ба мизоҷон дар фаҳмидани хусусиятҳои физикӣ ва химиявии ифлоскунандаҳо, аз ҷумла: таҳлили таркиби химиявӣ, таҳлили мундариҷаи ҷузъҳо, таҳлили сохтори молекулавӣ ва дигар таҳлили хусусиятҳои физикӣ ва химиявӣ кӯмак расонад.
Хизматнавъи | Хизматашё |
Таҳлили таркиби элементҳои маводи нимноқилӣ | l Таҳлили элементҳои EDS, l Тахлили элементарии спектроскопияи рентгении фотоэлектрони (XPS). |
Таҳлили сохтори молекулавии маводи нимноқил | l Таҳлили спектри инфрасурх FT-IR, l Таҳлили спектроскопии дифраксияи рентгенӣ (XRD), l Таҳлили поп резонанси магнитии ядроӣ (H1NMR, C13NMR) |
Таҳлили микроструктураи маводи нимноқилҳо | l Таҳлили буридаи нури дукаратаи ион (DBFIB), l Барои чен кардан ва мушоҳида кардани морфологияи микроскопӣ микроскопияи электронии сканерии саҳроӣ (FESEM) истифода шуд, l Микроскопияи қувваи атомӣ (AFM) барои мушоҳидаи морфологияи рӯизаминӣ |